半導体薬液洗浄装置のインライン用

ECN型薬液加熱ヒーター

高純度製
●　接液部にはすべてPFAを使用
●　不純物の溶出がありません
●　低温ヒーター使用で薬液を劣化させない
●　アルカリ性薬液に対しても劣化しない

信頼性
●　最高使用圧力：0.4ＭＰa
●　最高使用温度：標準品は80℃、特殊仕様で120℃まで製作可能
●　過熱アラーム用センサー内臓
●　停電等の急なシャットダウン時の温度上昇は
　　10℃程度。高温時の使用にも安心
●　漏水センサー内臓
●　流動変動や衝撃に強い

メンテナンス性
●　低温ヒーターを使用しているので寿命は半永久的ヒーター交換不要
●　非常にコンパクトなので、設置が容易
●　電気制御は、既設を有効利用可能