半導体薬液洗浄装置のインライン用

EXS型薬液加熱ヒーター

EXS型の特長

●　接液部にはすべてPFAを使用
●　低ワット密度の設計で長寿命
●　超純水、アルカリ液、酸性液に使用できます
●　コンパクトなので設置が容易